瑞氣的高純度系列產(chǎn)品適用于各種工藝需求,純化加氫A型、節(jié)能型、純化C型、碳燃燒型都是專門為電子/半導(dǎo)體用戶研制開發(fā)的多種解決方案,方便用戶的選擇,尤其是節(jié)能型純化獲得多種先進(jìn)技術(shù),為需求較高純度氮?dú)猓ㄑ鹾?le;1ppm、氫含量≤1ppm)的用戶提供現(xiàn)場(chǎng)解決方案,滿足電子產(chǎn)品高質(zhì)量的生產(chǎn)。
電子行業(yè)專用制氮機(jī)適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)封裝、電子元器件生產(chǎn)(SMT)、LED、LCD液晶顯示器、鋰電池生產(chǎn)等領(lǐng)域。制氮機(jī)具有純度高、體積小、噪聲低、能耗低等特點(diǎn)。
瑞氣電子行業(yè)制氮機(jī)代表客戶
電子制氮機(jī)案例現(xiàn)場(chǎng)圖(部分)
長(zhǎng)興電子制氮機(jī)現(xiàn)場(chǎng)圖1
長(zhǎng)興電子制氮機(jī)現(xiàn)場(chǎng)圖2
電子行業(yè)制氮機(jī)工作原理
電子行業(yè)制氮機(jī)是根據(jù)變壓吸附原理,采用高品質(zhì)的碳分子篩作為吸附劑,在一定的力學(xué)效應(yīng),氧在碳分子篩微孔中擴(kuò)散速率遠(yuǎn)大于氮,在吸附未達(dá)到平衡時(shí),氮在氣相中被富集起來,形成成品氮?dú)狻H缓鬁p壓至常壓,吸附劑脫附所吸附的氧氣等其它雜質(zhì),實(shí)現(xiàn)再生。一般在系統(tǒng)中設(shè)置兩個(gè)吸附塔,一塔吸附產(chǎn)氮,另一塔脫附再生,通過PLC程序自動(dòng)控制,使兩塔交替循環(huán)工作,以實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)氮?dú)庵康?。壓力下,?jīng)過凈化干燥的壓縮空氣,在吸附器中進(jìn)行加壓吸附、減壓脫附,得到高品質(zhì)氮?dú)狻?/p>
電子行業(yè)制氮機(jī)技術(shù)指標(biāo)
氮?dú)猱a(chǎn)量:3—2000Nm3/h
氮?dú)饧兌龋?9.9—99.9995%
氮?dú)鈮毫Γ?.6—0.8Mpa(可調(diào),可增壓)
氮?dú)饴饵c(diǎn):-40~-60℃(常壓)
電子行業(yè)制氮機(jī)制氮機(jī)特點(diǎn)
1.整機(jī)運(yùn)行可靠 先進(jìn)的制氮工藝流程設(shè)計(jì)、科學(xué)的氣體分布結(jié)構(gòu)、復(fù)合床結(jié)構(gòu)的吸附塔、獨(dú)有的碳分子篩填裝工藝、特有的碳分子篩保護(hù)措施和氣缸自動(dòng)壓緊補(bǔ)償裝置幾者的有機(jī)結(jié)合,確保制氮機(jī)的使用壽命可達(dá)十年以上。
2·連續(xù)生產(chǎn)穩(wěn)定
采用進(jìn)口PLC控制系統(tǒng)和切換壽命達(dá)300萬次的進(jìn)口氣動(dòng)程控閥,高效可靠:確保裝置的連續(xù)可靠運(yùn)行。
先進(jìn)的控制系統(tǒng)
PLC控制系統(tǒng),穩(wěn)定可靠,自動(dòng)化程度高。 可選擇觸摸屏控制系統(tǒng)、電腦工控機(jī)控制系統(tǒng)。采用人性化中文界面設(shè)計(jì),具有多畫面顯示功能,可在線顯示監(jiān)控氮?dú)饧兌取⒘髁?、壓力、溫度、露點(diǎn)、故障信號(hào)等參數(shù),并可在線修改運(yùn)行參數(shù),實(shí)再遠(yuǎn)程監(jiān)控、遠(yuǎn)程傳輸和遠(yuǎn)程啟停功能,自動(dòng)化程度高,操作簡(jiǎn)單。
3.氮?dú)馄焚|(zhì)穩(wěn)定
氮?dú)猱a(chǎn)量、純度和壓力可調(diào)節(jié)的吸附工藝,自動(dòng)聯(lián)鎖放空裝置,確保氮?dú)猱a(chǎn)量、純度、壓力長(zhǎng)期穩(wěn)定
4.運(yùn)行成本低
與其它(包括深冷法制氮、膜制氮、液氮、鋼瓶氮)相比,在中小規(guī)模裝置中,PSA制氮的運(yùn)行成本更低。
電子行業(yè)制氮機(jī)流程說明
空氣壓縮部分:空壓機(jī)、空氣儲(chǔ)罐;
空氣凈化部分:高效除油器、精密過濾器、壓縮空氣干燥機(jī)、空氣緩沖罐、活性炭過濾器;
電子行業(yè)制氮機(jī)主機(jī)部分:吸附塔、PLC控制器、氮?dú)夥蹓m過濾器、氮?dú)鈨?chǔ)罐,以壓縮空氣作為原料和動(dòng)力,通過變壓吸附制取純度為95%~99.9995%的氮?dú)猓?br />氮?dú)饧兓糠郑?/strong>利用碳載純化裝置(加氫純化裝置)對(duì)99.9%的普氮進(jìn)行提純,得到高純度氮?dú)猓?9.999%~99.9995%)。
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